2020年以来，MiniLED背光应用蓬勃发展，小间距LED商用显示产品悄然普及，市场需求大规模放量，北方华创多款产品在海内外各大主流产线中均有大量应用。更小尺寸的MicroLED的芯片制作对设备提出了更高的要求，NAURA积极布局相关设备研发，产品覆盖ICP ETCH、PECVD、PVD（AIN sputter、Metal sputter、ITO sputter）、ALD等设备种类。

在传统ICP刻蚀设备的基础上，NAURA LED ICP刻蚀设备对上下电极系统、加热控温系统进行了优化设计，实现了刻蚀均匀性的有效提升，能够满足MicroLED芯片的均匀性及边缘利用率要求。此款设备适用于MicroLED多种材料刻蚀，覆盖蓝绿、红黄芯片制造全流程，具有精准的线宽控制与高速刻蚀能力，可实现稳定量产并具备优异的刻蚀均匀性。同时，该设备配置的Cassette in Cassette out自动生产模式可实现优良的颗粒控制能力。

NAURA LED PECVD设备采用托盘载片和多站动态作业模式，为MicroLED芯片制造提供了先进的PECVD工艺设备解决方案。通过对镀膜方式的迭代升级，实现了更优的片内和片间均匀性；通过对反应腔上下电极系统的优化设计，实现了更大的单机产能输出能力。近年来，NAURA LED PECVD设备的颗粒控制能力以及自动化程度明显提升，可实现工厂端自动化生产，能够满足MicroLED对芯片制造的要求。