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燕东公司获“IC创新奖”

  2021-03-31 19:30 

        近日,2021集成电路产业链协同创新发展交流会在京沪两地视频连线举行,会上举行了第四届集成电路产业技术创新奖(简称“IC创新奖”)颁奖仪式。燕东公司“8吋线成套国产装备和材料应用”项目荣获IC创新奖之产业链合作奖。

 



        燕东以8吋线建设运营为契机,批量采购国家科技重大专项支持的关键国产装备,协同国内研究机构和设备供应商携手合作,创新克难,不仅完成了离子注入、刻蚀、清洗、金属溅射、扩散、薄膜等设备的工艺开发验证,推进了设备性能和效率的持续提升,还解决了成套国产装备联调实现工艺贯通和批量生产的问题,极大促进了国产装备的产业化应用和推广,在建立自主可控的集成电路国产化生产线方面具有示范效应,同时,在材料应用方面燕东也对国产化材料发展起到推进作用,为国产集成电路全产业链建设搭建了平台。


    “IC创新奖”由中国集成电路创新联盟(大联盟)于2018年创立,旨在重点鼓励集成电路技术创新、成果产业化、产业链上下游合作,以体现大联盟倡导全产业链合作的理念。奖项评比由来自国内集成电路全产业链各领域的领军人才、战略科学家以及金融专家等组成的提名委员会,采取“委员独立”提名制,并结合顶级权威专家“独立评审”产生。第四届“IC创新奖”征集活动面向全行业深度挖掘优秀项目,申报单位和项目均为历届最多,最终燕东在提名的101 个项目/个人中脱颖而出并获奖。

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