2020年11月25日，北方华创自主研发的真空超导材料热处理设备顺利完成客户验证，该产品作为超导加速腔铌三锡材料（Nb3Sn）镀膜工艺的关键设备，是继特大型真空排气台后，北方华创在大科学装置方面取得的又一重大进展。

　　在加速器领域，超导加速腔因其在超导状态下具有表面电阻低、损耗小、品质因数高等特点，被广泛应用于X射线自由电子激光（SHINE）、高能同步辐射光源（HEPS）等加速器装置，也是环形正负电子对撞机（CEPC）、中国散裂中子源（CSNS）等项目的关键部件。超导加速腔表面铌三锡材料（Nb3Sn）镀膜技术将大幅提高超导临界温度，有效降低热负载，进一步提升超导加速腔的加速性能、减小冷却系统尺寸和降低成本，已成为国内各大加速器实验室热点研究方向。

　　北方华创紧随市场需求，针对超导加速腔表面铌三锡材料（Nb3Sn）镀膜技术自主研发的真空超导材料热处理设备，配备专用加热控制系统，可实现对工艺腔室内分区精准控温；设备独特的腔室结构和真空获得系统，可有效降低腔室内各种杂质和污染，满足工艺条件要求。北方华创此次研制的真空超导材料热处理设备性能达到国际同类产品水平，是国产高端热处理设备在超导加速腔镀膜领域的一次新的尝试，为大科学装置项目的研究奠定了坚实基础。

　　未来，北方华创将始终秉承以客户需求为导向进行持续创新的理念，不断追求卓越，为新材料、新工艺、新领域客户提供更优质的解决方案。