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2020-11-06 15:11
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2020年10月28日至30日，第二届中国MEMS制造大会在苏州国际博览中心盛大举行，北方华创受邀发表了题为《MEMS“芯”机遇与NAURA解决方案》的演讲，重点介绍了北方华创在MEMS制造领域的新进展。
北方华创多年来深耕MEMS领域，攻关前沿半导体技术，能够为MEMS产业提供多样化的国产装备及工艺解决方案。NAURA HSE系列刻蚀设备应用于MEMS硅刻蚀工艺，已在生产线量产多年，性能稳定，完全匹配客户需求；GSE C200刻蚀设备主要用于GaN器件、GaAs器件、IR红外传感器等III-V和II-VI材料器件工艺，刻蚀材料范围广，兼具低速低损伤的原子层刻蚀（ALE）能力；GDE C200专为SiC背面通孔刻蚀、SiC栅槽刻蚀设计，工艺兼容性良好，能够完全满足器件工艺要求。
九万里风鹏正举，万亿级物联网市场乘势而来，助力MEMS技术和产品蓬勃生长，北方华创愿与客户继续深化战略合作，坚持以客户需求为导向，共赢发展！
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